SMC執(zhí)行元件有葉片式和螺桿式兩種。螺桿式氣動馬達(dá)利用螺桿將活塞的直線運(yùn)動變?yōu)榛剞D(zhuǎn)運(yùn)動。它與葉片式相比，雖然體積稍嫌笨重，但密閉性能很好。擺動馬達(dá)是依靠裝在軸上的銷軸來傳遞扭矩的，在停止回轉(zhuǎn)時有很大的慣性力作用在軸心上，即使調(diào)節(jié)緩沖裝置也不能消除這種作用，因此需要采用油緩沖，或設(shè)置外部緩沖裝置。
回轉(zhuǎn)式氣動馬達(dá)可以實(shí)現(xiàn)無級調(diào)速，只要控制氣體流量就可以調(diào)節(jié)功率和轉(zhuǎn)速。它還具有過載保護(hù)作用，過載時馬達(dá)只降低轉(zhuǎn)速或停轉(zhuǎn)，但不超過額定轉(zhuǎn)矩。
回轉(zhuǎn)式氣動馬達(dá)常見的有葉片式和活塞式兩種。活塞式比葉片式轉(zhuǎn)矩大，但葉片式轉(zhuǎn)速高；葉片式的葉片與定子間的密封比較困難，因而低速時效率不高，可用以驅(qū)動大型閥的開閉機(jī)構(gòu)。活塞式氣動馬達(dá)用以驅(qū)動齒輪齒條帶動負(fù)荷運(yùn)動。
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