| 測量范圍 | |
|---|---|
| 空氣/滿刻度自由選擇 | 閥體尺寸¼”從0…25 mln / min到0…60 ln / min（從0…27 SCCM到0…64 SLPM） 閥體尺寸½”從0…60 ln / min到0…450 ln / min（從0…65 SLPM到0…480 SLPM） |
| 儀器版本 | |
| “標(biāo)準(zhǔn)” 的經(jīng)濟解決方案 | 精度：滿量程的±1.0％*量程 比：1：50 |
| “高性能”， 具有高的精度和量程比 （適用于GSM <200 ln / min（200 SLPM）/ GSC <150 ln / min（150 SLPM）（空氣）） | 精度：滿量程的±0.3％+讀數(shù)的±0.5％*量程 比：1：100 *模擬信號可能會產(chǎn)生±0.25％的附加誤差 |
| 性能數(shù)據(jù) | |
| 介質(zhì)（真實氣體校準(zhǔn)） | 空氣*，O2 *，N2，He，Ar，CO2，H2，CH4，C3H8（根據(jù)要求提供其他氣體和氣體混合物） * O2和N2用空氣校準(zhǔn) |
| 響應(yīng)時間 | 儀表（GSM）：±80ms *; 控制器（GSC）：±500毫秒* *取決于設(shè)備配置并根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)E17-1011， 在優(yōu)化條件下量程的5-100％ |
| 重復(fù)性 | 滿量程的±0.2％（根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)E56-0309） |
| 長期穩(wěn)定性 | <每年測量值的1％ |
| 電源 | 24 Vdc（18 – 30 Vdc），根據(jù)要求提供15 Vdc |
| 消耗電流標(biāo)準(zhǔn) | 儀表（GSM）：大 100毫安; 控制器（GSC）：大 250 mA （帶有8型閥的GSC，大490mA） |
| 電流消耗Profinet RT / EtherCAT | 儀表（GSM）：大 125毫安; 控制器（GSC）：大 340 mA （帶有8型閥的GSC，大560mA） |
| 操作壓力 | 0.2 – 11 bar a（3 – 160 psia）/ GSC，閥門類型為4.5和大8。8巴（120磅/平方英寸） |
| 溫度（環(huán)境/氣體） | 0 – 50°C（32 – 122°F） |
| 車身材料 | 陽極氧化鋁，電鍍不銹鋼（可選） |
| 封條 | FKM，EPDM，可選FFKM |
| 壓力靈敏度 | <0.2％/讀數(shù)欄（典型值N2） |
| 溫度敏感度 | 每1°C 0.025％FS測量范圍類型（??每1°F <0.012％） |
| 熱身時間 | <1秒 *準(zhǔn)確 |
| 整合與安裝 | |
| 輸出信號模擬 | 0-20 mA，4-20 mA，0-5 V，1-5 V，0-10 V，2-10 V |
| 數(shù)字輸出信號 | RS-485; Modbus RTU（從站）; 可選LabView-VI ：Profibus DP-V0，DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
| 過程連接 | G¼”（BSPP *母頭），高60 ln / min（64 SLPM） G½”（BSPP *母頭），高450 ln / min（480 SLPM） *英國標(biāo)準(zhǔn)管道平行 |
| 入口部分 | 不需要 |
| 電氣連接 | Sub D插頭，9極 |
| 安裝方向 | 任何位置（高于5 bar的咨詢制造商或垂直安裝） |
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